超声波振荡器部件主要包括大功率超声波换能器、变幅杆、工具头(发射头)，用于产生超声波振动，并将此振动能量向液体中发射。超声波驱动电源是专门用于驱动超声波振动部件工作的设备，控制这超声波振动部件的各种工作状态。它将一般的市电转化为高频的交流电信号，并驱动换能器产生超声振动。
超声波振荡器的使用方法：
1)在清洗槽内无清洗液的情况下不允许接通电源打开超声波振荡器，并且机器里液面的高度不得低于槽深的三分之一。
(2)在使用人员从未使用过超声波振荡器时，应首先选择一个物件和一定量的清洗液做一下实验，避免出现问题。待调整出合适的时间、功率、频率和清洗剂的种类之后再进行大量清洗，从而达到好的清洗效果。
(3)清洗精密或贵重的物件时，应先将本仪器用纯水或是蒸馏水漂洗一段时间，将仪器出厂时所用的保护剂清除掉 ，然后才能进行物件的清洗。
(4)如果清洗的物件是精密的零件，在使用超声波振荡器进行清洗工作时，应先逐个清洗并在清洗后立即上油。
(5)选择合适的清洗剂： 超声波振荡器禁止直接使用强酸与强碱，易燃易爆易挥发的溶剂；使用带挥发性的溶剂，需要有人看守；正常情况下，仪器连续工作15min后会升温，应注意所选用清洗剂的温度要求，大部分的清洗剂是不超过60℃，以免超温后效果不佳甚至会有意外发生；